マイクロギア 超微細加工による高アスペクト比メタルパーツ
アスペクト比100も可能。高精度・高アスペクト比のマイクロメタルパーツ
■ 製造工程: LIGAプロセス 高アスペクト比を持つ微細構造を実現する複合プロセスです。 X線リソグラフィと電鋳により,金属やポリマーの微細構造体を高精度,高アスペクト比にて実現しています。 ■ マイクロギア例1 ハーモニックドライブ歯車(高精度マイクロマニピュレータ向け,高速度伝達比,バックラッシュ無し) 構造高さ1 100 µm,構造幅: 30 µm ■ マイクロギア例2 (射出成型モールド) 高アスペクト比を持つ高精度の並行構造例。 ニッケル製マイクロギアアレイ (樹脂製射出成型パーツ用のモールド)。 構造: 高さ2 000 µm,歯車の構造幅: 35 µm
- 企業:株式会社ASICON
- 価格:応相談