メンテナンスシート - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

プローブカード メンテナンスシート

同じ箇所を5～10回使用可能。自己修復被膜で交換頻度を削減するプローブカードメンテナンスシート

プローブカードのプローブピン用クリーニングシート／リシェイピングシートです。独自の自己修復被膜がタッチダウンで生じた孔を自動的に閉じるため、同じ箇所を5～10回程度繰り返し使用できます（一般的な他社シートは1回で孔が残り、未使用箇所への移動が必要です）。シート使用面積と交換頻度を削減し、メンテナンスコストの低減につながります。 半導体検査用プローブピンの加工・評価技術を持つ当社と、シリコーンゴム成型品の専門メーカーである東和化学株式会社が共同で製造・開発。研磨剤の配合は、対象プローブの材質（P7、AgPdCu、Rh、Ir、レニウムタングステンなど）や先端形状、クリーニング／リシェイピングの目的に応じて調整可能です。 MEMS・バーティカルプローブカード向けのウェハタイプ（プローバーチャックへ直接設置）と、カンチレバー・エピタキシャルプローブカード向けのシートタイプ（装置に合わせてカット可能）の2種類をご用意しています。 ※使用可能回数は対象プローブおよび使用条件によって異なります。まずはお気軽にご相談ください。