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モジュール成膜ユニット - メーカー・企業と製品の一覧

モジュール成膜ユニットの製品一覧

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【事業紹介】モジュール式プロセスシステム

システムがモジュール式設計!テクノロジーや生産性に応じた長期的な変更にも対応可能

当社は工業生産および研究開発のためのシステムの構築で50年以上の経験を もっています。 この専門ノウハウを活かして、顧客に比較的小さな基板の真空成膜用システムを 数百台も供給してきました。 当社のモジュール式システムにより、ウェハーをベースにした製品、3次元 形状製品、バッチで成膜幅が1,000mm以下の基板、ドラム式成膜装置、 クラスター型、あるいはインラインシステムを自由自在にカスタマイズした ソリューション提供が可能です。 【その他の事業(一部)】 ■建材およびモビリティー向けのガラス成膜 ■薄膜太陽電池 ■結晶太陽電池 ■フレキシブル基板 ■特殊アプリケーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ウエハー

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