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スパッタ成膜ユニット
マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット 【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて 使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能 ○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能 ○ツーモーションシャッター採用によりコンタミおよび発塵を防止 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
透明でかつ効果大！ご希望の構成と必要な成膜システムに応じてカスタマイズ！
当社は世界の主要なガラスメーカーに成膜システムを供給しています。 建材ガラス薄膜はエネルギー消費を大幅に削減するので、環境保護に貢献。 このようにして、陽光遮断膜は夏場に建物内部が熱くなるのを防ぎ、冷房の コストを減らします。 一方、冬には低放射（Low-E）コーティングがガラス表面から屋外への熱損失を ほとんど完全に防止するので、暖房エネルギーの損失がほとんどありません。 その結果、建物の冷暖房に使うエネルギーの最大80％が節約できます。 【その他の事業（一部）】 ■薄膜太陽電池 ■結晶太陽電池 ■フレキシブル基板 ■特殊アプリケーション ■モジュール式プロセスシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
車両用ガラスの太陽光遮断膜は快適な車内の温度状態を実現！同時に燃料を節約
当社のFOSAおよびFOBAウェブコーティングシステムは、ディスプレイ用に タッチ接点を成膜したポリマーフィルムや帯電防止、反射防止、Low-E成膜 のフィルム、あるいは高性能リチウムイオン電池用のカーボン成膜など他の 様々な種類のアプリケーション向けにカスタマイズできます。 小規模から幅2m以上まで、ロール・ツー・ロールプロセスの真空コーティングの システムを供給。 このシステムはポリマーフィルム、金属箔、フレキシブルガラスといった 様々な種類の基板を成膜し、窓用フィルム、フレキシブルエレクトロニクス、 バッテリー向け市場で利用されています。 【その他の事業（一部）】 ■建材およびモビリティー向けのガラス成膜 ■薄膜太陽電池 ■結晶太陽電池 ■特殊アプリケーション ■モジュール式プロセスシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
特別注文対応チーム！大規模生産に向けた理想的なソリューションを提供
航空輸送は成長を続けており、それに応じて燃料消費の引き下げ、排気ガスの 減少、エンジンの静音化という要求がますます大きくなっており、 現代のタービンは従来よりもはるかに高い燃焼温度と温度変動に耐えなければ なりません。 当社のTUBAはタービンに適切なシステムコンセプトです。 また、電気自動車は自動車市場においては、当社は専門知識、PVDプロセスと 製膜システムによって、バッテリーおよび燃料電池メーカーにコスト効率に優れた、 大規模生産に向けた理想的なソリューションを提供します。 【その他の事業（一部）】 ■建材およびモビリティー向けのガラス成膜 ■薄膜太陽電池 ■結晶太陽電池 ■フレキシブル基板 ■モジュール式プロセスシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
システムがモジュール式設計！テクノロジーや生産性に応じた長期的な変更にも対応可能
当社は工業生産および研究開発のためのシステムの構築で50年以上の経験を もっています。 この専門ノウハウを活かして、顧客に比較的小さな基板の真空成膜用システムを 数百台も供給してきました。 当社のモジュール式システムにより、ウェハーをベースにした製品、3次元 形状製品、バッチで成膜幅が1,000mm以下の基板、ドラム式成膜装置、 クラスター型、あるいはインラインシステムを自由自在にカスタマイズした ソリューション提供が可能です。 【その他の事業（一部）】 ■建材およびモビリティー向けのガラス成膜 ■薄膜太陽電池 ■結晶太陽電池 ■フレキシブル基板 ■特殊アプリケーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高生産性の成膜システムを提供しております
当社では、ガラス、金属箔、ウェハ、ポリマーフィルム、フレキシブルガラスといった 材料に薄膜機能層を成膜するための先進的な成膜装置を開発・製造しています。 長年にわたって太陽電池に関わり、結晶および薄膜ソーラーパネルの 世界的トップ企業に高生産性の成膜システムを提供。 当社の成膜は高性能、軽量、フレキシブルなコンポーネント製造に寄与し、 医療、自動車、照明、産業用電子機器および家電製品に応用されています。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【取扱製品】 ■建材ガラスの大面積成膜用システム「GC330H」 ■太陽電池のガラス成膜のための生産性の高いモジュール式装置「XENIA」 ■太陽光発電分野向けの成膜シリコンウェハ用 モジュール式システムプラットフォーム「XEA|nova(R)」 他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
高効率ソーラーセル製造！標準フォーマットのウェハは勿論、特殊フォーマットにも対応
当社は結晶および薄膜ソーラーパネルのメーカーに150台以上の成膜システ ムを設置してきた経験を基に、卓越したプロセスのノウハウを蓄積してきま した。 顧客のニーズに応じてカスタマイズ可能なモジュール式のXEA|novaウェハ 成膜システムによって、当社はすでにヘテロ接合型テクノロジー（HJT）市場に 広く受け容れられています。 高生産性、高精度な薄膜成膜テクノロジーによって可能になる新しい 高効率セルコンセプトの開発を今後も継続していきます。 【その他の事業（一部）】 ■建材およびモビリティー向けのガラス成膜 ■薄膜太陽電池 ■フレキシブル基板 ■特殊アプリケーション ■モジュール式プロセスシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
