スパッタ成膜ユニット
マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット 【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて 使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能 ○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能 ○ツーモーションシャッター採用によりコンタミおよび発塵を防止 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット 【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて 使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能 ○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能 ○ツーモーションシャッター採用によりコンタミおよび発塵を防止 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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精密加工・組立の分野で新たなステージによる展開を実現する、新組織・株式会社メープルの社名は、従来より引き継ぐ「組織は人」の基本ポリシーと、「人が考え人が創る」というコンセプトを具現化したものです。 Make People（メーク・ピープル）。「人が創る」と共に「人を創る」。社名に込められたこの姿勢こそが、私たちの今後ともに目指す組織と業務のあり方を象徴しています。
