リスポンプ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

半導体のALDやCVDの精密パルス供給に　セントリス　ポンプ

ALD/CVDの液体前駆体供給に！　0.3nl単位での液量調整と17nl/分単位の流速調整が可能。厳しい最適化が必要な送液に最適

組込み用シリンジポンプ市場で世界でトップメーカーのテカンが供給する高精度ポンプ。 国内でも多くの装置導入がなされています。無脈動で正確、かつ再現性の高い送液目的で多用されています。 Centris 1回の送液の液量範囲：0.3nl～12.5ml（※） 液量調節単位：最少0.3nl～　 調節可能な流速範囲：17μl/分～750ml/分　（0.3nl/秒～12.5ml/秒） 流速調整単位：　17nl/分～　（0.3nl/秒） ※装着しているシリンジ容量(50ul～12.5ml)による 例：5ｍlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少104nl～　 調節可能な流速範囲：1.62μl/分～300ml/分　（0.3nl/秒～5ml/秒） 流速調整単位：1.62μl/分～　（28nl/秒～） 分解能が装着シリンジに対して181,490ステップあり、かなり高精度な液体操作を可能にします。また、3ポートから12ポートまでの液路切替バルブが搭載でき複数の液体ソースから溶液を吸引できます。送液量や流速が正しいことを常にモニタリングする機構により、異常を自動でエラーコードで知らせます。