ル位置決め装置×シグマ光機株式会社 - 企業1社の製品一覧

ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]

検査効率向上に！リニアエンコーダ内蔵で優れた再現性があるナノメートル分解能の位置決め装置です。

独自開発したリニアエンコーダを内蔵したステージとコントローラで構成される装置です。 ステージのエンコーダの読み取り値は逓倍処理後に1nm~100nmの分解能があります。 可動域は20mm~300mm（分解能によりラインナップが異なります。） コントローラはフィードバック回路とモータードライバを搭載しておりステージのフィードバック制御が行えます。 各種通信インターフェースを搭載しており、PC等からのコマンド制御が可能です。 真空対応品もラインナップしております。 真空チャンバーサイズに合わせたウエハ位置決めステージの製作実績があります。

• 企業：シグマ光機株式会社
• 価格：応相談

• その他理化学機器
• その他光学部品
• アクチュエーター