検査効率向上に！リニアエンコーダ内蔵で優れた再現性があるナノメートル分解能の位置決め装置です。
独自開発したリニアエンコーダを内蔵したステージとコントローラで構成される装置です。 ステージのエンコーダの読み取り値は逓倍処理後に1nm~100nmの分解能があります。 可動域は20mm~300mm（分解能によりラインナップが異なります。） コントローラはフィードバック回路とモータードライバを搭載しておりステージのフィードバック制御が行えます。 各種通信インターフェースを搭載しており、PC等からのコマンド制御が可能です。 真空対応品もラインナップしております。 真空チャンバーサイズに合わせたウエハ位置決めステージの製作実績があります。
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基本情報
OPIE'19内のポジショニングEXPOに出展致しました。 日時：2019年4月24日から26日 10:00~17:00 場所：パシフィコ横浜 小間番号：E-17 展示物：1nm分解能位置決め装置、真空対応1nm分解能位置決めステージ
価格情報
50万円以上
納期
※1.5ヶ月
用途／実績例
光学(放射光を含む)研究分野 各種検査装置(電子線顕微鏡、蛍光顕微鏡など) 特殊加工装置(微小スクラッチなど)
ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FS-1020UPX | リニアエンコーダ内蔵1nm分解能位置決めステージ 20mmストローク |
| FC-901U | 1nm分解能位置決めステージ用のコントローラ |
| FC-511 | 10nm分解能位置決めステージコントローラ |
| FS-3200PX | 10nm分解能位置決めステージ、可動範囲：200mm |
カタログ（2）
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企業情報
シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。