レジスト塗布装置×三明電子産業株式会社 - 企業1社の製品一覧

立体レジスト塗布装置「スプレーコーター　DC110/DC210」

スピンナークラスの薄膜から超厚膜まで対応。膜厚は１μｍ～６００μｍまで可能

MEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコーター

• 企業：三明電子産業株式会社
• 価格：応相談

• スプレー
• その他半導体製造装置