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IBSコーティングによりR>99.998%を実現します。
メーカー：Optoman（リトアニア） OptomanのIBSコートミラーは特定波長・入射角において、最大反射率>99.998%、トータルロス（吸収、散乱、透過）<15ppmという仕様が可能です。 高純度の石英ガラス（平面、球状またはウェッジ状）にコーティングされ、粗さ<2Å（0.2nm）まで研磨します。バルクに近い濃密なコーティングは温度や湿度などの環境要因によるパフォーマンスの低下が非常に少ないです。非常に高い反射率を誇る複雑なコーティングはGTIレーザーミラーだとR>99.95%、薄膜ポラライザだとTp/Ts >10000:1を実現できます。
IBSコーティングにより高エネルギーのUVレーザーにもダメージを受けにくいミラーです。
メーカー：Optoman（リトアニア） 紫外線波長レンジにおいて高い反射率を実現するにあたり、散乱・吸収のロスはうまく制御する必要があります。UVレーザーユーザーにとっては、ミラーの劣化は大きな問題です。Optomanは表面品質と最適化したコーティング技術に注目しました。この技術によりUVレーザーから光学系を保護し、寿命を延ばします。
IBSコーティングにて「＞98％@193nm」の反射率を実現！UVレーザーから光学系を保護し、寿命を延ばす
当社では、Optomanが開発した、ArFエキシマレーザー向けの 「193nm高反射レーザーミラー」をご提供しております。 IBSコーティングにて「＞98％@193nm」の反射率を実現。紫外線波長 レンジにおいて高い反射率を実現するにあたり、散乱・吸収のロスは うまく制御する必要があります。 UVレーザーユーザーにとっては、ミラーの劣化は大きな問題です。 同メーカーは表面品質と最適化したコーティング技術に注目しました。 この技術によりUVレーザーから光学系を保護し、寿命を延ばします。 【製品仕様】 ■材質：UVFS(Corning 7980 0F) ■直径：25.4mm ＋0/-0.1mm ■厚さ：6.35mm ＋/-0.1mm ■有効径：22mm ■面精度・S1：＜λ/10@633nm over any 15mm dia ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
