IBSコーティングにて「>98%@193nm」の反射率を実現!UVレーザーから光学系を保護し、寿命を延ばす
当社では、Optomanが開発した、ArFエキシマレーザー向けの 「193nm高反射レーザーミラー」をご提供しております。 IBSコーティングにて「>98%@193nm」の反射率を実現。紫外線波長 レンジにおいて高い反射率を実現するにあたり、散乱・吸収のロスは うまく制御する必要があります。 UVレーザーユーザーにとっては、ミラーの劣化は大きな問題です。 同メーカーは表面品質と最適化したコーティング技術に注目しました。 この技術によりUVレーザーから光学系を保護し、寿命を延ばします。 【製品仕様】 ■材質:UVFS(Corning 7980 0F) ■直径:25.4mm +0/-0.1mm ■厚さ:6.35mm +/-0.1mm ■有効径:22mm ■面精度・S1:<λ/10@633nm over any 15mm dia ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【IBSコーティング】 ■S1:HRa>98%@193nm,AOI=45deg ■S2:Uncoated ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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サンインスツルメント株式会社は、先端技術を駆使した光通信およびレーザー製品等を世界各国から代理店として輸入販売しております。 ■レーザー発振器(フェムト秒レーザー/ピコ秒レーザー/ナノ秒レーザー/CWレーザー/波長可変レーザー/狭線幅レーザー etc) ■光通信機器(トランシーバ/光アンプ/WDM/カプラ etc) ■センシング関連(各種光ディテクタ) ■分光関連(分光器/光ファイバプローブ/ハイパースペクトルカメラ etc) ■光学系(IBSコート光学系/超高真空窓/レトロリフレクタ etc)