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UV用途に理想的な高出力エキシマレーザー用ミラー。熱的安定性に優れ、低波面歪を実現しています。
要求の厳しいUVアプリケーション用に理想的なTECHSPEC エキシマレーザーミラーは、高出力エキシマレーザーとの使用向けに最適化されています。精密なUVグレード合成石英基板の採用により、卓越した熱的安定性と低波面歪を実現。入射角45°でデザインされており、偏光依存性は殆どありません (反射特性が入射光の偏光状態に影響を受けません)。なお、入射角0°バージョンのミラーも特注製作可能です。詳細はお問い合わせください。 ■1.5J/cm2までの高い損傷閾値 ■低損失な誘電体膜コーティング ■193mmおよび248mmレーザーとの使用向けにデザイン ※下記より、こちらの製品が掲載されているエドモンド・オプティクス・ジャパンのカタログがダウンロードできます。
誘電体多層膜による高反射レーザーミラーです。
誘電体多層膜により、特定波長を高反射させるミラーです。適切な加工条件により高エネルギー耐力のあるミラーを製作する事が出来ます。また、広帯域反射ミラー、二波長反射ミラー、ハーモニックセパレーター等のカスタム製作も可能です。
高出力レーザー用の高性能コーティング オプティックス
スペクトラル オプティックス社(Spectral Optics)レーザーミラーは、可視·近赤外波長について> 99.5％の反射率があります。一般的なレーザー波長は、YAG、ヘリウムネオン、アルゴン、ダイオードレーザーが標準装備されています。ミラーは、ビームステアリングまたは共振器内の応用のいずれにも適しています。 波長355nmより短い波長では、スペクトラル オプティックス社のコーティング設計、コーティング材料および基板を慎重に開発し、それぞれ特定の波長における低吸収と高い損傷しきい値のミラーを供給します。必要なピークパワー、パルス幅及びパルス繰返しだけでなく、予想される強度分布をご相談ください。 > 99.5％の反射率は248nmおよびそれより長い波長 それよりも短い波長は > 97％ です。
IBSコーティングにて「＞98％@193nm」の反射率を実現！UVレーザーから光学系を保護し、寿命を延ばす
当社では、Optomanが開発した、ArFエキシマレーザー向けの 「193nm高反射レーザーミラー」をご提供しております。 IBSコーティングにて「＞98％@193nm」の反射率を実現。紫外線波長 レンジにおいて高い反射率を実現するにあたり、散乱・吸収のロスは うまく制御する必要があります。 UVレーザーユーザーにとっては、ミラーの劣化は大きな問題です。 同メーカーは表面品質と最適化したコーティング技術に注目しました。 この技術によりUVレーザーから光学系を保護し、寿命を延ばします。 【製品仕様】 ■材質：UVFS(Corning 7980 0F) ■直径：25.4mm ＋0/-0.1mm ■厚さ：6.35mm ＋/-0.1mm ■有効径：22mm ■面精度・S1：＜λ/10@633nm over any 15mm dia ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
