ArFエキシマレーザー向け 193nm高反射レーザーミラー
IBSコーティングにて「＞98％@193nm」の反射率を実現！UVレーザーから光学系を保護し、寿命を延ばす
当社では、Optomanが開発した、ArFエキシマレーザー向けの 「193nm高反射レーザーミラー」をご提供しております。 IBSコーティングにて「＞98％@193nm」の反射率を実現。紫外線波長 レンジにおいて高い反射率を実現するにあたり、散乱・吸収のロスは うまく制御する必要があります。 UVレーザーユーザーにとっては、ミラーの劣化は大きな問題です。 同メーカーは表面品質と最適化したコーティング技術に注目しました。 この技術によりUVレーザーから光学系を保護し、寿命を延ばします。 【製品仕様】 ■材質：UVFS(Corning 7980 0F) ■直径：25.4mm ＋0/-0.1mm ■厚さ：6.35mm ＋/-0.1mm ■有効径：22mm ■面精度・S1：＜λ/10@633nm over any 15mm dia ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：サンインスツルメント株式会社 本社
- 価格：応相談
