厚さ0.1mmのタングステン板へのマイクロ微細四角穴加工事例のご紹介です。
【加工仕様】
板厚:0.1mm
穴寸法(入射面):0.3×0.3mm
ピッチ:0.6mm
加工範囲:45×45mm
熱影響が少なく、チッピングやクラックのない非常に美しい状態で加工されていることがご覧いただけると思います。
四角穴の間隙は約0.015mm以下となっており、短パルスレーザの特徴が活かされた好例であると言えます。
タングステン(W)は融点・沸点ともにきわめて高く、金属の中で最も線膨張係数の低い物質です。
また非常に高い硬度を持つ為、超硬合金の材料としてよく知られています。
欠点として加工が難しく、機械加工においては工具摩耗やチッピング等の課題があり、特に微細加工が困難な材料とされていました。
しかし、微細加工の需要は多く、様々な工法でチャレンジが繰り返されてきましたが、従来のいずれの工法も希望する形状を得ることはできませんでした。
株式会社リプス・ワークスでは、光学系、制御系、レーザパワー等の適正値を徹底的に模索し、ついにタングステンへの美しい微細加工技術が確立いたしました。
機械加工やその他の工法でみられる工具の摩耗・破損、品質のバラつき等の心配は一切ありません。