3次元形状レーザ露光装置 ※開発中
5軸ステージ制御による3次元形状へのマスクレスフォトリソグラフィを実現！
『3次元形状レーザ露光装置』は、5軸ステージ（直進3軸、回転2軸）構成により 様々な形状へ微細パターニングが可能です。 半導体レーザによる直接露光を行いますので、メタルマスクが不要で、研究・開発の 時間短縮、予算低減へ貢献します。 また、専用変換ソフトにより2D、3D CADで制作したデータを読込できます。 【特長】 ■5軸ステージ（直進3軸、回転2軸）構成 ■様々な形状へ微細パターニングが可能 ■メタルマスクが不要で、研究・開発の時間短縮、予算低減へ貢献 ■専用変換ソフトにより2D、3D CADで制作したデータを読込可能 ■アライメント補助機により、容易な立体構造サンプルの位置合わせが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ネオアーク株式会社 東京営業部
- 価格：応相談
