ローディングユニット×株式会社ウイング - 企業1社の製品一覧

ローディングシステム　EFEM

ローディングシステム　EFEM

300mmウェハ用に開発された ローディングシステム 【特徴】 ○操作性はもちろんの事、画像計測、オート測定機等 　様々な装置とのドッキングが可能 ○BBS（Building Block System）の採用で 　用途に応じてオプションを付加することにより 　予算に合わせた効率的なシステム構成が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• 企業：株式会社ウイング
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置