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3000 N押力/700 N引力、サブナノ分解能で90 µm可動、µs応答
PICMA(R)多層スタックをプリロード付金属ケースに入れたP-844/P-845は、最大90 µmストロークをサブナノメートルで動作し、最大3000 Nの押力と700 Nの引力を可能にする高荷重ピエゾアクチュエータです。 P-845タイプは、歪みゲージセンサー（SGS）を内蔵し、ピエゾの動きを直接計測しフィードバックするため、ヒステリシスやドリフトを最小化にします。P-844はセンサーなしタイプ。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
90 µmストロークと1000 N押力、µs応答でサブナノ分解能ポジショニング
P-841はPICMA(R)積層スタックをプリロード付金属ケースに入れたピエゾアクチュエータです。 最大90 µmの変位をナノレベルで動作し、押力1000 N／引力50 Nを発揮。 変位レンジは15〜90 µmまでバリエーションを用意。 内部ピエゾのセラミック絶縁技術がリーク電流と水分侵入を抑え、長期連続駆動でも性能を維持します。 歪みゲージ位置センサ（SGS）付きのため、ヒステリシス、ドリフトを高精度に補正します。 ファイバ・光学素子のアライメント、レーザー波長チューニング、ナノテク試験治具など高剛性と高応答が求められる用途で威力を発揮します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
90 µmストローク、サブナノ分解能ポジショニングを実現
ナノテクノロジー分野では、微細な構造の操作や位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。特に、原子レベルでの操作や、微小な距離の移動が必要となる場合、従来の技術では対応が難しいことがあります。P-841は、サブナノメートルの分解能と最大90 µmのストロークを提供し、これらの課題に対応します。これにより、ナノテクノロジー研究における実験の精度向上と効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・ファイバ・光学素子のアライメント ・レーザー波長チューニング ・ナノテク試験治具 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる実験の再現性向上 ・微細構造の正確な操作 ・実験時間の短縮 ・従来のポリマー絶縁アクチュエータと比較して最大10倍の寿命
サブナノ分解能ポジショニングで半導体製造を革新
半導体製造業界では、ウェーハやマスクの位置決めなど、極めて高い精度が求められます。微細加工技術の進歩に伴い、位置決めの精度は製品の品質を左右する重要な要素となっています。従来の技術では対応が難しい、サブナノレベルでの精密な位置決めが、歩留まり向上、製造プロセスの効率化に不可欠です。 【活用シーン】 ・ウェーハプロービング ・マスクアライメント ・半導体製造装置 【導入の効果】 ・サブナノメートルレベルの高精度な位置決め ・製造プロセスの効率化 ・歩留まりの向上
サブナノ分解能ポジショニングで精密測定の較正をサポート
精密測定業界では、測定器の正確な較正が求められます。特に、ナノレベルの精度が要求される場合、位置決めの微細なズレが測定結果に大きな影響を与える可能性があります。P-841は、サブナノメートルの分解能と最大90µmのストロークにより、高精度な位置決めを実現し、測定器の正確な較正を支援します。 【活用シーン】 ・精密測定器の較正 ・光学素子の位置調整 ・ナノテクノロジー研究 【導入の効果】 ・高精度な測定結果の実現 ・測定器の性能向上 ・研究開発の効率化
