サブナノ分解能ポジショニングで半導体製造を革新
半導体製造業界では、ウェーハやマスクの位置決めなど、極めて高い精度が求められます。微細加工技術の進歩に伴い、位置決めの精度は製品の品質を左右する重要な要素となっています。従来の技術では対応が難しい、サブナノレベルでの精密な位置決めが、歩留まり向上、製造プロセスの効率化に不可欠です。 【活用シーン】 ・ウェーハプロービング ・マスクアライメント ・半導体製造装置 【導入の効果】 ・サブナノメートルレベルの高精度な位置決め ・製造プロセスの効率化 ・歩留まりの向上
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基本情報
【特長】 ・PICMA(TM)ピエゾセラミック層による驚異の長寿命 ・ストローク～90μm ・コンパクトなケース ・プッシュフォース～1000N ・プルフォース～50N 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、世界の様々な国と企業でピエゾステージ＆アクチュエータの提供しており、お客様の精密位置決めに関する課題解決をサポートします。
価格情報
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納期
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用途／実績例
応用例 ・スタティックとダイナミックの精密位置決め ・ディスクドライブ試験 ・アダプトロニクス ・スマート構造 ・アクティブ振動制御 ・スイッチ ・レーザーチューニング ・パッチクランプ ・ナノテクノロジー
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
