移動ロードロックシステム『CEX-2420』
スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備！各試料ホルダーへの試料の移載が可能
『CEX-2420』は、コンビナトリアル・スパッタ装置「CMS-6420」間、 あるいは、パスカル社製「PLD装置」間で、大気暴露なしに成膜試料を 超高真空下で移載搬送できる移動ロードロックシステムです。 L/L室と接続ポート部は、独立したターボ分子ポンプで排気され、 試料を常に超高真空下に持ちます。また、スパッタ装置用、PLD装置用の 2つの接続ポートを備え、各試料ホルダーへの試料の移載が可能。 無停電電源でバックアップされ、30分以上の移動時の無通電可動ができます。 【特長】 ■大気暴露なしに成膜試料を超高真空下で移載搬送できる ■スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを備え、 各試料ホルダーへの試料の移載が可能 ■無停電電源でバックアップされ、30分以上の移動時の 無通電可動ができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社コメット
- 価格：応相談
