スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備！各試料ホルダーへの試料の移載が可能
『CEX-2420』は、コンビナトリアル・スパッタ装置「CMS-6420」間、 あるいは、パスカル社製「PLD装置」間で、大気暴露なしに成膜試料を 超高真空下で移載搬送できる移動ロードロックシステムです。 L/L室と接続ポート部は、独立したターボ分子ポンプで排気され、 試料を常に超高真空下に持ちます。また、スパッタ装置用、PLD装置用の 2つの接続ポートを備え、各試料ホルダーへの試料の移載が可能。 無停電電源でバックアップされ、30分以上の移動時の無通電可動ができます。 【特長】 ■大気暴露なしに成膜試料を超高真空下で移載搬送できる ■スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを備え、 各試料ホルダーへの試料の移載が可能 ■無停電電源でバックアップされ、30分以上の移動時の 無通電可動ができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、国立研究開発法人・物質・材料研究機構(NIMS)発の認定ベンチャー として設立され、コンビナトリアル薄膜成膜技術を用いた 新機能性材料開発を行っています。 1つの試料基板上に全ての組成の組み合わせを持つコンビナトリアル・ ライブラリーを作成することによって、機能性材料の開発期間を 著しく短縮し、開発をHigh Troughput化します。