不活性ガス純度向上:ガス精製器（アルゴン、窒素、ヘリウムなど）
【不活性ガスの純度向上に】インライン式超高純度ガス精製器ファインピュアラー（窒素、アルゴン、ヘリウム等精製器）
不活性ガス(窒素・アルゴン・ヘリウム・ネオン・キセノン・クリプトン)中の 各種不純物（O2,CO2,H2O,CO）を1ppb以下へ純化します。流量範囲は〜300NL/minです。 0.003µmパーティクルフィルタ標準装備。再生することにより繰り返し使用可能です。
- Company：大阪ガスリキッド株式会社
- Price：応相談
