【不活性ガスの純度向上に】インライン式超高純度ガス精製器ファインピュアラー（窒素、アルゴン、ヘリウム等精製器）
不活性ガス(窒素・アルゴン・ヘリウム・ネオン・キセノン・クリプトン)中の 各種不純物を1ppb以下へ純化します。流量範囲は〜300NL/minです。 0.003µmパーティクルフィルタ標準装備。再生することにより繰り返し使用可能です。 連続してご使用可能な手動再生型もございます（オーダーメイドのため、納期・価格ご相談ください）
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基本情報
不活性ガス(窒素・アルゴン・ヘリウム・ネオン・キセノン・クリプトン)中の各種不純物を1ppb以下へ純化します。 流量範囲は〜300NL/minです。0.003µmパーティクルフィルタ標準装備。再生することにより繰り返し使用可能です。 連続してご使用可能な手動再生型もございます。（オーダーメイドのため、納期・価格ご相談ください）
価格情報
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納期
用途／実績例
半導体製造装置、分析機器キャリア・ゼロガス用、雰囲気調整用に使用します。
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企業情報
大阪ガスリキッド株式会社は、大阪ガスの100％子会社として1991年に設立しました。 大阪ガスが輸入する液化天然ガス（LNG）の冷熱を利用した産業ガスやドライアイスの製造・販売を中心に、液化窒素を活用した低温粉砕や産業ガス関連技術の開発などの事業をグループ各社とともに展開しています。