ラップ機 仕込み取り出し装置(LLU-01型)
φ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出
ラップ加工装置へφ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出しを行う装置です。 取り出したウェーハは1バッチごとに1枚の厚さ測定を行い、仕上がり厚さのOK/NG判定を行います。
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φ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出
ラップ加工装置へφ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出しを行う装置です。 取り出したウェーハは1バッチごとに1枚の厚さ測定を行い、仕上がり厚さのOK/NG判定を行います。