【半導体向け】NAGASEP ガス供給・分離モジュール
純水安定供給に貢献するシリコーン中空糸膜、脱気用途、給気用途で溶存ガスをコントロール
半導体製造業界では、高品質な製品を安定して供給するために、製造工程で使用される超純水の品質管理が極めて重要です。超純水中に溶存する酸素や二酸化炭素などのガス成分は、プロセスへの影響や比抵抗値の変動を招き、製品品質や歩留まりに影響を及ぼす可能性があります。NAGASEPガス分離膜は、超純水の脱気および比抵抗値のコントロールに活用されており、半導体製造における水質の安定化と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおける超純水の脱気 ・溶液中に溶解した各種ガスの除去 ・超純水への炭酸ガス給気による比抵抗値コントロール 【導入の効果】 ・超純水の安定供給による歩留まり向上 ・製品品質の安定化 ・製造プロセスの効率化
- 企業：株式会社岩田商会
- 価格：応相談
