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円筒研磨機×齊藤精機株式会社 - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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SiC用円筒研磨機

次世代のパワー半導体として期待されているSiC用円筒研磨を開発!

シリコン用円筒研磨機で培った技術をベースに、 SiC用円筒研磨機を開発しました。 次世代のパワー半導体として期待されているSiCは、 加工難易度が高く、多くの課題を乗り越え量産用設備として完成しました。

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他半導体製造装置

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