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最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高/超高真空を実現するターボ分子ポンプ
nEXTターボ分子／複合分子ポンプおよびEXCコントローラは、最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高／超高真空を実現します。 ターボ分子ポンプ(TMP)は、マルチステージの軸流タービンであり、高速回転するブレードが排気方向へ移動するガス分子の確率を高めることによって圧縮をもたらします。 複合分子ポンプ(CMP)は、ブレードが付属するターボ分子ステージと分子ドラッグステージを同一ロータ上で合体させるというコンセプトを基礎にしています。 【特長】 [ターボ分子ポンプ] ○分子の流れ状態に合わせて最適化される [複合分子ポンプ] ○フォアラインの高臨界圧（標準で最大1、000Pa） ○より小型の背圧ポンプまたはダイヤフラムポンプの使用が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
クラス最高レベルの排気速度！設置面積がコンパクトなターボ分子ポンプをご紹介
『nEXT730/nEXT930』は、窒素の排気速度がそれぞれ700l/sと900l/sを 超える大型ポンプです。 高速回転が要求される一般R&D市場への対応はもとより、コーティング市場、 熱処理、炉用途、電子ビーム溶接、エッチング、イオン注入、脱ガス、 シリンダ排気などの市場要件も満たすように設計。 OEMのお客様には、既存の小型nEXTと同様にスプリットフロータイプの開発 ならびに特殊仕様への変更も可能です。 【特長】 ■クラス最高レベルの排気速度 ■優れた圧縮比 ■統合と取り付けが容易 ■信頼性を確保 ■エンドユーザー自身でサービスが可能 ■nEXTの定評ある通信インタフェース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの薄膜工程で豊富な経験がございます。
当カタログは、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。 真空ポンプは、プロセス中の不純物の混入防止、成膜速度の向上、プラズマ発生用途として使われています。 エドワーズは、これまでの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスへの豊富な知識により、パッケージソリューションをご提供いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
先端科学のターボポンプに新たな基準を打ち立てる次世代型ターボ分子ポンプ！多くの主要な科学機器に標準で装着できます！
真空ポンプ技術の世界的リーダー、エドワーズが新規開発した、世代型ターボ分子ポンプをご紹介いたします。既に多大な信頼を獲得してきたEXTおよびSTPシリーズに基づく20年を超える経験をもとに設計した「nEXT85」は、先端科学のターボポンプに新たな基準を打ち立てる製品です。「nEXT85」は、性能が強化されただけでなく、現場でのメンテナンスやデータログの確認等nEXTシリーズと同一のサービスおよび運転機能を利用することが可能ターボ分子ポンプです。 【特長】 ■卓越した排気速度と圧縮比を実現する最先端のローターデザイン ■多様なフィールドで実証された高い信頼性 ■多くの主要な科学機器に標準で装着、10万台以上の納入実績 ■複雑な加工や大掛かりな分解を必要とせず、エンドユーザーによる短時間での整備が可能 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
ご要望の到達圧力や排気速度から、最適なポンプを選定頂けます。
低真空領域、中真空領域での圧力範囲をカバーするポンプを表にしております。記載以外のポンプや特殊な条件がある場合は、個別に［お問い合わせ］願います。
フリーズドライの鍵： 真空技術の役割
フリーズドライ(凍結乾燥)は、真空下で製品を低温で乾燥させる脱水技術です。乾燥対象に含まれる水などの溶媒を蒸発させることにより除去します。真空下で行うことで、液相を通過することなく、低い温度で溶媒を蒸発させることができます。 その1番のメリットは熱に弱い成分を保護し、対象の形状や大きさを保てることです。最終的な製品に溶媒が含まれない為、酸化や劣化、組成変化（遺伝的または酵素的）の影響を抑え、長期保存が可能になります。 以下のリンクでは、フリーズドライで真空が果たす役割と真空ポンプ選定時のポイントをご紹介します。
様々なCO2回収法とそれぞれにマッチした真空ポンプをご紹介
特定の製造工程であったり、焼却炉、発電所などのエネルギー生産過程において、温室効果ガスである二酸化炭素が大気中に放出されます。これを、捕捉・分離・回収・再利用することで、大気中の二酸化炭素の濃度を減少させ、排出量をゼロにする脱炭素化を目指した取り組みが世界規模で推進されています。 以下のリンクをクリックして、代表的な二酸化炭素・CO2回収の工法をご確認ください。
