磁気軸受形複合分子ポンプ TG1300M
低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
分子ポンプ(仕様) - メーカー・企業と製品の一覧
分子ポンプの製品一覧
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磁気軸受形複合分子ポンプ TG900M
低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
磁気軸受形複合分子ポンプ TG390M
広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
磁気軸受形複合分子ポンプ TG420M
広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
磁気軸受形 複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)
広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。
標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
エドワーズ社ターボ分子ポンプ
オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
"セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 客先にてベアリング軸受けの交換も可能です。"
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
ライボルト社ターボ分子ポンプ
オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の 圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。 コントローラは、装置組込み用廉価版コントローラと、ラック型 コントローラがあります。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展
ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポンプを紹介！
IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。 【製品】 ■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI ■磁気軸受形 ターボ分子ポンプ、コントローラ：TGkine3400M-R、TC0331M［新製品］ ■磁気軸受形 複合分子ポンプ（極低振動仕様）：TG420ML ■コンパクトドライ真空ポンプ：DSP251［新製品］、DSP50 ■省エネ型ドライ真空ポンプ：ER100D 詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。 また、大阪真空はSEMICON Japan 2019 にて、上記ポンプを展示いたしますので是非ご来場ください。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU
超高真空仕様ターボ分子ポンプ
超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
磁気軸受形複合分子ポンプ TG2400M
大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ
反応生成物対策仕様 TG2400MI もラインナップしています。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
耐放射線仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MRシリーズ
放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ！
放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。 大強度陽子加速器施設（J-PARC）などに納入！
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
ターボ分子ポンプ『nEXT730/nEXT930』
クラス最高レベルの排気速度！設置面積がコンパクトなターボ分子ポンプをご紹介
『nEXT730/nEXT930』は、窒素の排気速度がそれぞれ700l/sと900l/sを 超える大型ポンプです。 高速回転が要求される一般R&D市場への対応はもとより、コーティング市場、 熱処理、炉用途、電子ビーム溶接、エッチング、イオン注入、脱ガス、 シリンダ排気などの市場要件も満たすように設計。 OEMのお客様には、既存の小型nEXTと同様にスプリットフロータイプの開発 ならびに特殊仕様への変更も可能です。 【特長】 ■クラス最高レベルの排気速度 ■優れた圧縮比 ■統合と取り付けが容易 ■信頼性を確保 ■エンドユーザー自身でサービスが可能 ■nEXTの定評ある通信インタフェース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：エドワーズ株式会社
- 価格：応相談
*ターボ分子ポンプHiPaceシリーズ
圧縮比、到達真空度、ガス流量など、業界トップクラスの基本性能
高真空 (< 1x 10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、 ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。 •使用環境に合わせて仕様選択可能 •ドライブ回路搭載 (※電源搭載モデルもございます。) 省設置スペース、省ケーブル、省コスト •ドライブ回路切離しタイプ 設置環境、設置スペースの自在性 •アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ) 面倒な配線作業などが不要 •ワールドワイドサービス 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』
設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！
大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。 【特長】 ■省電力設計 ■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
