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触媒機能を持つパッドにより、純化学的に様々な材料を原子スケールで平坦化
触媒機能を持つパッド（PtやNi等の触媒を成膜）を加工対象物上で超純水を加工液として動かすことで被加工表面上の凸部のみ化学的に除去する触媒作用を利用した独自のエッチング技術。ガラスやSiCを始めとする様々な材料表面を原子スケールで平坦化します。 CAREは更にP-V0.7nmを実現し、将来的には原子1個分の平坦度をも可能となる究極の加工法です。
航空・医療・燃料電池に対応。フッ酸制御技術による高精度チタン表面加工を、安全・環境配慮型システムで実現。
TSK Schill GmbHが開発・製造するチタンエッチングシステムは、高強度・耐腐食性を持つチタン素材を精密かつ安全に加工するための水平湿式装置です。 フッ酸とチタン表面の化学反応を精密に制御することで、酸化層の除去とマイクロ構造の形成を実現します。 エッチング時間・温度・酸濃度を厳密に管理することで、目的とする表面仕上げを安定して達成します。 コーティングの密着性向上・耐腐食性強化・製品寿命の延長に直接貢献します。
