ALSモデル900Dシリーズ SECM走査型電気化学顕微鏡
表面分析へのアプローチ
ALSモデル900Dシリーズ SECM走査型電気化学顕微鏡は、界面近傍の化学的な変化を高解像度で観察するための装置です。
- 企業:ビー・エー・エス株式会社
- 価格:1000万円 ~ 5000万円
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表面分析へのアプローチ
ALSモデル900Dシリーズ SECM走査型電気化学顕微鏡は、界面近傍の化学的な変化を高解像度で観察するための装置です。
ドイツのSENSOLYTICS社の走査型電気化学顕微鏡は低価格、高性能です。
・ベースSECMの構成は高品質ステッピングモーター制御XYZ測位システムを用いて、25x25x25 mmスキャン範囲、 20nm分解能 ・オプション High-Res: 分解能向上するオプション、piezoelectric positioning システムより 100x100x100μmスキャン範囲、3nm分解能 ・オプション Shear-Force: 粗いサンプル(凸凹)に対して、Sophisticated feedback mechanismよりチップとサンプルは一定の距離を保ち、スキャンする機能
イオン伝導率の低い材料でも高精度に評価可能
イオン伝導を利用したデバイスの研究分野では、固体材料中のイオン易動度、イオン導電率等をナノスケールでプロービングする技術として、電気化学歪み顕微鏡法(ESM法)が知られている。ESM法は、電圧印加による固体中のイオンの運動に伴って発生する、固体の局所的な体積変化(電気化学歪み)の信号を検出し、検出した信号を画像化して出力する方法である。 ESM法を用いることによって、イオンの運動状態の分布を示す画像が得られるが、画像の鮮明度は、固体材料のイオン伝導率に依存している。そのため、イオン伝導率が比較的低い固体材料においては十分な鮮明度を得ることができず、イオンの運動状態を高い精度で評価することは難しい。 本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、高周波のバイアス電圧を印加することにより、イオンの運動状態に応じて発生する応答信号を劇的にエンハンスすることができる。 本発明により、イオン伝導率が比較的低い材料にあっても、十分な鮮明度で分布画像を得ることができる。