半導体特性評価システム

パッケージレベルとウェーハレベルで複数のDUTを一括処理！FET単体トランジスタ特性からTDDB評価にも対応

『AMM-2000』は、高精度な測定・評価により、信頼性を追求した半導体特性評価システムです。パッケージレベルからウェーハレベルまでを高精度な電圧・電流印加と FET単体トランジスタの電気的特性および継続的変化を測定し、故障原因の解明に重要な役割を果たします。ウェーハの大口径化、微細化・高集積化により信頼性評価の重要性も飛躍的に高まってきています。【特長】 ■パッケージレベルとウェーハレベルで複数のDUTを一括処理 ■高精度な電圧・電流印加と測定を実現 ■FET単体トランジスタ特性からTDDB評価にも対応 ■ソフトでピンアサイン変更 ■SMU1端子でFET酸化膜の絶縁破壊測定が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。