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半自動露光装置 - 企業2社の製品一覧

製品一覧

1~2 件を表示 / 全 2 件

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試作量産対応半自動露光装置

アライメント精度=±1μm以下!!!

<特徴> 試作量産に適した、高精度パターニング、アライメント精度を提供します。

  • その他半導体製造装置
  • ウエハ加工/研磨装置

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半自動露光装置『半自動マスクアライナー』

4inと8inサイズをご用意!アライメント露光が可能な多品種量産用半自動露光装置!

株式会社三明で取り扱っている『半自動マスクアライナー』をご紹介します。 当製品は、露光光源が照度分布±5%以内の多品種量産用半自動露光装置です。 自動ギャップ調整から手動アライメント、自動コンタクト露光、自動搬送の 流れで行うことができます。 詳細については、お気軽にご相談ください。 【仕様】 ■φ4in φ6in φ8in 仕様 ■Top-side アライメント ■Bottom-side アライメント ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他搬送機械

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