アライメント精度＝±1μｍ以下！！！
<特徴> 試作量産に適した、高精度パターニング、アライメント精度を提供します。
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基本情報
2、6、8インチ又は角基板も対応アライメントは自動、平行だし、Gap制御も自動で、ワークの搬入、搬出のみ人手にて行います。 片面、両面アライメントに対応します。 アライメント精度＝±1μｍ以下。 除振機能は標準仕様、両面アライメントは、両側光学系、IR光学系選択可能です。 露光方式は、バキュームコンタクト、ハードコンタクト、プロキシミティに対応します。
価格情報
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納期
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用途／実績例
ウェハ等
企業情報
光学をベースに未知の世界へ挑戦します。 ２１世紀は≪光の時代≫と言われるほど、光技術の進歩には目覚しいものがあります。物づくりする当社におきましては、その、≪光技術≫を核として、未来指向の技術力をよりスピーディーに進め、時代が必要としている・情報技術 ・超微細技術 ・科学技術に進んで挑戦し、迅速に行動するパワーあふれる企業でありたいと思っております。また、同時に新世紀にふさわしい革新を常に推進し、安全で信頼のおける製品づくりと、世界に必要とされる企業であり続けることを目指し、より豊かな社会に積極的に取り組んでいく所存であります。 今後とも、皆様の一層のご指導とご支援を心からお願い申し上げます。