EPIScope
EPISセンサを お客様がお手軽に利用できるよう、卓上顕微鏡型の 「EPIScope」を商品化いたしました。
1.電気検査では困難な Open/Shortの『不良位置』を特定できます。 2.光学画像では困難な『凹み』不良を検出できます。 3.表層パターンだけでなく、内層パターンの不良も検出できます。 4.静止画像だけでなく、動態観察も可能です。 5.電気的な差を検出するので、汚れ(絶縁物)の影響を受けにくい。
- 企業:オー・エイチ・ティー株式会社
- 価格:応相談
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EPISセンサを お客様がお手軽に利用できるよう、卓上顕微鏡型の 「EPIScope」を商品化いたしました。
1.電気検査では困難な Open/Shortの『不良位置』を特定できます。 2.光学画像では困難な『凹み』不良を検出できます。 3.表層パターンだけでなく、内層パターンの不良も検出できます。 4.静止画像だけでなく、動態観察も可能です。 5.電気的な差を検出するので、汚れ(絶縁物)の影響を受けにくい。