シリコン単結晶引き上げ装置『TCR-5C/TCR-15C』
アルゴンガス雰囲気を制御可能!発熱体はカーボンヒーターによる抵抗加熱式です
『TCR-5C/TCR-15C』は、実験・研究用の小型シリコン単結晶育成装置(CZ法)です。 ステンレス製缶体内は、アルゴンガス雰囲気を制御可能。 発熱体はカーボンヒーターによる、抵抗加熱式です。 尚、炉内の温度制御は熱電対制御方式又は、電力制御方式となります。 その他の詳細は、お問い合わせください。 【構成】 ■単結晶引き上げ炉 ■制御盤 ■手元装置ボックス ■電源ボックス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:株式会社テクノサーチ
- 価格:応相談