アルゴンガス雰囲気を制御可能！発熱体はカーボンヒーターによる抵抗加熱式です
『TCR-5C／TCR-15C』は、実験・研究用の小型シリコン単結晶育成装置(CZ法)です。 ステンレス製缶体内は、アルゴンガス雰囲気を制御可能。 発熱体はカーボンヒーターによる、抵抗加熱式です。 尚、炉内の温度制御は熱電対制御方式又は、電力制御方式となります。 その他の詳細は、お問い合わせください。 【構成】 ■単結晶引き上げ炉 ■制御盤 ■手元装置ボックス ■電源ボックス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【主な仕様(一部)】 ■型式名称：TCR-5C ■ルツボ寸法：φ3in, × 3in, ■試料チャージ量：350g ■加熱方式： 抵抗加熱式(カーボンヒーター) ■引上げ軸ストローク：500mm ■引上軸移動速度：0.5～3 mm/分 ■引上軸回転速度：2.0～20 rpm ■ルツボ軸ストローク：100mm など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■実験・研究用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
株式会社テクノサーチは、半導体、酸化物、フッ化物等の各種結晶育成装置 など、多様化するニーズに対応して、各種装置をオーダーメイドにより 設計、製造します。 また、高度な技術開発を担う研究所、大学、企業のパートナーとして 製造装置のみならず、結晶育成、高温加熱、真空加圧、コンピュータ制御 などの関連ノウハウをも提供することにより、幅広く科学・技術の発展に 貢献します。