両面表面・厚み測定システム 『CT600ST』
2個のクロマティック共焦点ラインセンサーを搭載。毎秒2×384,000データポイントの高速高精度な両面厚み解析を実現
高精度な両面表面および厚み測定システム『CT600ST』は、2kHzの測定速度を備えた2個のクロマティック共焦点ラインセンサーを搭載し、1秒あたり2×384,000データポイントの高密度測定に対応します。 解像度20nmを備えたサーボドライブの両面Z軸と頑丈な花崗岩構造（2,500kg）により、振動の影響を抑えた真のTTV（合計厚みばらつき）分析や正確な厚み測定を実現します。 半導体や精密部品の品質評価やプロセス管理を強力に支援します。 【特長】 ■2個の共焦点ラインセンサーによる毎秒高密度な両面測定に対応 ■解像度20nmの両面Z軸と2,500kgの花崗岩構造で高精度測定を実現 ■振動を抑制した安定構造で真のTTV分析や両面厚み解析をサポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社Found Four
- 価格：応相談
