厚み測定器×兼松ＰＷＳ株式会社 - 企業1社の製品一覧

アルネアラボラトリ社製 ウェハ厚み測定器

波長掃引方式により、シリコン基板の厚みを、非接触で高感度にリアルタイム測定

・シリコン、インジウムリンなどのウェハの厚みを非接触測定 ・ウェットエッチング中のリアルタイム測定など、過酷な環境下での測定可能 ・精密制御された波長可変光源で、高感度に測定 ・0.1μm以下の測定精度で高い再現性 ・シリコン以外も、測定対象物、測定サイズ・形状によってカスタマイズ可能

• 企業：兼松ＰＷＳ株式会社
• 価格：応相談

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