厚み測定器×レイリサーチ株式会社 - 企業1社の製品一覧

ウェーハ厚み測定装置

移載機能と厚み測定機能を搭載しています。

移載機能と厚み測定機能を備えたウェーハ厚み測定装置です。 指定したウェーハ内の各ポイントの厚みを測定することが可能です。 6インチ・8インチウェーハに対応しています。 【特徴】 　■移載機能と厚み測定機能を搭載 　■6インチ・8インチウェーハに対応 　■最大2000点のポイントを測定可能 　　（厚み測定ポイントは任意に設定可能） 　■取得データのリアルタイムモニター機能を搭載

• 企業：レイリサーチ株式会社
• 価格：1000万円 ~ 5000万円

• その他半導体製造装置