移載機能と厚み測定機能を搭載しています。
移載機能と厚み測定機能を備えたウェーハ厚み測定装置です。 指定したウェーハ内の各ポイントの厚みを測定することが可能です。 6インチ・8インチウェーハに対応しています。 【特徴】 ■移載機能と厚み測定機能を搭載 ■6インチ・8インチウェーハに対応 ■最大2000点のポイントを測定可能 （厚み測定ポイントは任意に設定可能） ■取得データのリアルタイムモニター機能を搭載
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基本情報
【参考仕様】 ■ウェーハサイズ：6インチ、8インチ ■構成要素 →搬送ユニット →ローダ・アンローダユニット（4キャリア設置） →アライメントユニット →ID認識ユニット（8インチガラス専用） →厚み測定ユニット →上位通信機能（オプション）
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
用途／実績例
特別仕様に対応致します。お気軽にお問合せ下さい。
企業情報
システム開発を中心に半導体検査装置の開発・販売、ソフトウエアの開発等トータル的なシステム開発に力を注いでいます。 当社では、開発技術力を提供出来ることを誇りとしているので、開発費を頂くことなく、低価格で開発品をご提案致します。 当社では、開発案件を頂いたら、まず評価機を作製し、ご提案する独自の開発プロセスで開発を進めていきます。開発初期段階から顧客の要望を取入れ、顧客との連携を一番に考え開発を進めるので、顧客の仕様に合わせた顧客専用のカスタマイズ製品の提供が可能です。