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欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定 ■真の非接触モードによるコスト削減 ■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM
『Park NX-3DM』は、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁 イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムの 原子間力顕微鏡(AFM)です。 傾斜Zスキャナを備えた特許取得済みの分離型XYおよびZスキャン システムにより、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の 課題を克服します。 【ウエハファブ用で必須なツール】 ■高度で正確なPark NX技術を用いた完全自動産業用AFM ■アンダーカットやオーバーハング構造のためのチルトヘッドデザイン ■サンプル前処理不要で正確な側壁粗さ計測 ■完全非接触モード(TM)により、装置とサンプルにダメージを与えずに 高品質のイメージが得られる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
C-AFMやKFM、sMIMなどの測定モードで最大100mm角のサンプルに対応
導電性AFM、ケルビンプローブフォース顕微鏡法（KFM）、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡法（sMIM）などの機能に加え、4インチまでのサンプルに対応。 ■サンプルサイズ ：最大100 mm角 ■ステージ移動距離 ：100 mm ■XY走査範囲 ： 100 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■Z走査範囲 ： 9 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■XY走査分解能 : 24ビット制御 – 0.06 Angströms ■Z走査分解能 : 24ビット制御 – 0.006 Angströms ■ノイズレベル ：Typ : <0.01 mV RMS
自動欠陥検査機能、低ノイズ、高スループット！正確な原子間力顕微鏡をご紹介！
『Park NX-Wafer』は、欠陥のイメージングと解析を完全自動で行う AFM計測手法により、欠陥検査における生産性を1 000％向上する 原子間力顕微鏡です。 正確でハイスループットのCMPプロファイル測定のための低ノイズ 原子間力プロファイラー。 サブÅの表面粗さを極めて正確に測定し、チップ間のバラツキを最小化します。 【特長】 ■欠陥のイメージングと解析を完全自動で行うAFMソリューション ■欠陥レビューにおける生産性を最大1000％向上 ■低ノイズ原子間力プロファイラーで正確且つ高スループットなCMP計測を実現 ■非常に正確で、チップーチップ間のバラツキも最小にしたサブÅ表面粗さ計測 ■原子間力プロファイラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
研究用から生産現場向けまで、大小様々なシステムのカスタマイズ提案が可能な原子間力顕微鏡（AFM）のご紹介
当社では、ユーザーフレンドリーな操作性に対応し、表面形状の測定を 簡単かつ短時間で行える『原子間力顕微鏡（AFM）』を取り扱っています。 アクティブ防振機構を搭載し、多彩な測定モードに対応した「CoreAFM」や、 専用ツールの使用によりカンチレバーの交換がスムーズに行える コンパクト設計の「NaioAFM」などのモデルをラインアップ。 研究現場向けの小型仕様から、生産現場向けの大型ステージ仕様、 品質管理用の自動化システムといったカスタマイズ対応が可能です。 【ラインアップ（抜粋）】 ◎卓上型原子間力顕微鏡「CoreAFM」 ■アクティブ防振機構・風防を採用 ■32種類の測定オプションを搭載可能 ◎小型原子間力顕微鏡「NaioAFM」 ■コントローラ、XYステージ・風防・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載 ※当社が取り扱う走査型プローブ顕微鏡をまとめたカタログを配布中。 詳しい内容は「PDFダウンロード」よりご覧いただけます。
かんたん操作でコンパクト・壊れにくい！低コストな“All-in-one”AFM装置をご紹介
『NaioAFM』は、大学や専門学校におけるナノテクノロジー教育や、 研究開発または品質管理の現場で、表面形状を短時間に簡潔に測定したい ユーザーに好適なコンパクトタイプ原子間力顕微鏡です。 当製品特有の“Flip-over”スキャンヘッドと専用交換ツールにより、短時間に そしてシンプルに、カンチレバーの交換が可能。 機能性と操作性を両立し、どなたでも、どこでも使える“All-in-one”AFM装置 として、世界中で広くご利用いただいております。 【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載、場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加搭載が可能 ■シンプルなカンチレバー交換：レーザや検出器の調整不要 ■設置後すぐに測定可能：USBケーブルを接続しソフトウエアを立ち上げるだけ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
