欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定 ■真の非接触モードによるコスト削減 ■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■モーター駆動XYステージ ・最大移動範囲：150 mm × 150 mm ・繰り返し誤差：2 µm ■モーター駆動Zステージ ・Z移動距離：25 mm ・分解能：0.1 µm ・繰り返し誤差：＜1 µm ■XYスキャナ範囲：100 µm × 100 µm ■XYスキャナ分解能：0.095 nm (20ビット位置制御） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■自動欠陥検査と表面粗さ測定に好適なAFM ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、革新的技術と自動化ソフトウェアで非常に正確で使いやすい 原子間力顕微鏡(AFM)を開発、生産、販売するナノ計測機器専門企業です。 30カ国以上の世界的な販売網を開拓し、世界各地の様々な分野で 当社の原子間力顕微鏡が使用されています。 世界的水準の技術力を保有している急成長AFM企業として、核心技術の開発、 および優秀な製品開発に精進し、ナノテクノロジーの発展に先導してまいります。
