故障解析と大型試料における研究開発のためのナノ形状計測ツール
『Park NX20』は、パワー、汎用性、操作の容易性を芸術的に組み合わせた 大型試料用の原子間力顕微鏡(AFM)です。 本製品には、デバイス障害の背後にある原因を明らかにし、より創造的な ソリューションを開発するための独自の機能が装備されています。 また、真のノンコンタクト(TM)モードのスキャンによって、チップがより鋭く、 かつ長く保たれるため、無駄な時間と費用の発生を防ぐこともできます。 【研究およびFAラボにおける大型試料用AFMを使ったソリューション】 ■メディア、基盤用の表面ラフネス計測 ■欠陥検査イメージングと解析 ■高解分解能電気特性測定モード ■3D構造解析における側壁計測 ■低ノイズZ検出器を備えた正確なAFM形状イメージング ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様（スキャナー）】 ■XYスキャナー ・クローズドループ制御単一XYスキャナー ・スキャン範囲：100μm×100μm、50μm×50μm(オプション)、25μm×25μm(オプション) ・20ビット位置制御と24ビット位置センサ ■Zスキャナー ・フレクチャー式クローズドループスキャナー ・スキャン範囲：15μm(オプション30μm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、革新的技術と自動化ソフトウェアで非常に正確で使いやすい 原子間力顕微鏡(AFM)を開発、生産、販売するナノ計測機器専門企業です。 30カ国以上の世界的な販売網を開拓し、世界各地の様々な分野で 当社の原子間力顕微鏡が使用されています。 世界的水準の技術力を保有している急成長AFM企業として、核心技術の開発、 および優秀な製品開発に精進し、ナノテクノロジーの発展に先導してまいります。