欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定 ■真の非接触モードによるコスト削減 ■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■モーター駆動XYステージ ・最大移動範囲：150 mm × 150 mm ・繰り返し誤差：2 µm ■モーター駆動Zステージ ・Z移動距離：25 mm ・分解能：0.1 µm ・繰り返し誤差：＜1 µm ■XYスキャナ範囲：100 µm × 100 µm ■XYスキャナ分解能：0.095 nm (20ビット位置制御） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■自動欠陥検査と表面粗さ測定に好適なAFM ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
パーク・システムズは、原子間力顕微鏡（AFM）の開発に携わった創業者によって設立され、ナノスケールの顕微鏡・計測技術を世界に提供しているグローバル企業です。 試料や探針へのダメージを抑え、高精度な測定を可能にする独自のTrue NonContactAFM技術をはじめ、高精度な3D計測技術や自動化システムの開発を進め、研究開発向け装置から半導体産業向けの計測ソリューションまで幅広く展開しています。
