故障解析アプリケーションに適した真空環境スキャニング
『Park NX-Hivac』は、故障解析および環境の影響を受けやすい材料向けの 高真空原子間力顕微鏡(AFM)です。 高濃度ドープの半導体の正確な故障解析が可能。 また、当社のすでに認められた技術を用いることによって、高分解能で 高い再現性と操作性による低ノイズ計測を可能にした製品です。 【故障解析の為の高真空計測】 ■高速スキャンのための進化したStepScan自動機構とレーザーアライメント機構 ■マルチサンプルチャック ■Park独自の容易なチップ交換機能 ■大型真空チャンバー(300mm×420mm×320mm) ■超長距離観察を実現した直上光学顕微鏡 ■感度が向上された高真空SSRMモード ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様（スキャナー）】 ■XYスキャナー：50μm×50μm(100μmx100μmオプション) ■Zスキャナー：15μm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
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企業情報
パーク・システムズは、原子間力顕微鏡（AFM）の開発に携わった創業者によって設立され、ナノスケールの顕微鏡・計測技術を世界に提供しているグローバル企業です。 試料や探針へのダメージを抑え、高精度な測定を可能にする独自のTrue NonContactAFM技術をはじめ、高精度な3D計測技術や自動化システムの開発を進め、研究開発向け装置から半導体産業向けの計測ソリューションまで幅広く展開しています。
