故障解析と大型試料における研究開発のためのナノ形状計測ツール
『Park NX20』は、パワー、汎用性、操作の容易性を芸術的に組み合わせた 大型試料用の原子間力顕微鏡(AFM)です。 本製品には、デバイス障害の背後にある原因を明らかにし、より創造的な ソリューションを開発するための独自の機能が装備されています。 また、真のノンコンタクト(TM)モードのスキャンによって、チップがより鋭く、 かつ長く保たれるため、無駄な時間と費用の発生を防ぐこともできます。 【研究およびFAラボにおける大型試料用AFMを使ったソリューション】 ■メディア、基盤用の表面ラフネス計測 ■欠陥検査イメージングと解析 ■高解分解能電気特性測定モード ■3D構造解析における側壁計測 ■低ノイズZ検出器を備えた正確なAFM形状イメージング ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様（スキャナー）】 ■XYスキャナー ・クローズドループ制御単一XYスキャナー ・スキャン範囲：100μm×100μm、50μm×50μm(オプション)、25μm×25μm(オプション) ・20ビット位置制御と24ビット位置センサ ■Zスキャナー ・フレクチャー式クローズドループスキャナー ・スキャン範囲：15μm(オプション30μm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
パーク・システムズは、原子間力顕微鏡（AFM）の開発に携わった創業者によって設立され、ナノスケールの顕微鏡・計測技術を世界に提供しているグローバル企業です。 試料や探針へのダメージを抑え、高精度な測定を可能にする独自のTrue NonContactAFM技術をはじめ、高精度な3D計測技術や自動化システムの開発を進め、研究開発向け装置から半導体産業向けの計測ソリューションまで幅広く展開しています。
