昇華原料対応ALDユニット『TF-ALDシリーズ』
原料容器、バルブ、配管、ヒーター等をユニット化！2種類の原料容器を選択可能
『TF-ALDシリーズ』は、東北大学における先端融合領域イノベーション 創出拠点形成プログラムの研究成果をもとに製品化した昇華原料対応の ALDユニットです。 4chの温調と最大2個の高耐久高速バルブを搭載。 シリアル通信もしくはETHER NET通信により全コントロールが可能です。 原料の蒸気圧および反応ガスの種類に応じて6種類のユニットをご用意 しております。 【特長】 ■原料容器、バルブ、配管、ヒーター等をユニット化 ■4chの温調と最大2個の高耐久高速バルブを搭載 ■シリアル通信もしくはETHER NET通信により全コントロールが可能 ■原料の蒸気圧および反応ガスの種類に応じて6種類のユニットをご用意 ■2種類の原料容器(大：約180ml、小：約60ml)を選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社テクノファイン
- 価格：応相談
