内層板用両面同時露光装置 光 ＨＤＥ１１０Ｓ
今までの露光装置とは生産性が違います！
通常12秒〜のタクトタイムを、何と！ 9秒にまで縮小しました。 1分に換算すると、今までのものよりも1〜2枚生産量ＵＰが実現できます。
- 企業：豊和工業株式会社 機械事業部ＣＥ営業グループ電子機械チーム
- 価格：応相談
同時露光装置 - メーカー・企業と製品の一覧
同時露光装置の製品一覧
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ロール両面同時露光装置『BEX-560DR-LED』
ランニングコストの負担軽減に貢献するロール両面同時露光装置！
『BEX-560DR-LED』は、生産性・高精度・大面積・省エネ・拡張性など 1台で多様な生産現場のニーズに対応できるロール両面同時露光装置です。 高品質なLED光源ユニットを搭載し、ランニングコストの負担を軽減。 また、超高精度アライメント機構によりパターン表裏の位置合わせ精度 1μmを実現します。 【特長】 ■露光室のクリーン度を上げる／装置内をクリーン度でクラス分け ■ランニングコストの負担を軽減：高品質LED光源ユニット ・ランプ交換不要の長寿命LED ・LED専用設計のフライアイレンズ ・水銀灯比1/8の低消費電力 ・高速電子シャッター搭載 ・熱線を含まないLED光源（365nm） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社べアック
- 価格：応相談
半自動両面同時露光装置（セミオートダブルマスクアライナー）
ベルト搬送方式によるウエハ表面、裏面を同時に露光可能な装置です。 fast露光モード、アライメント露光モードを設定可能。
当製品は、半自動両面同時露光装置です。 ウエハキャリアからの取り出し、搬入をベルト方式に行います。 マスクとウエハはコンタクトし、同時に露光を行います。 アライメントなしのfast露光モード、 ウエハとマスクのアライメントを主導で行うアライメント露光モードを レシピで選択。 ベルト搬送方式の特徴を生かし、fast露光モードは高タクトで処理が可能。 上下マスクの位置合わせ、マスク―ウエハの位置合わせはI.Fを同一とし 操作が煩雑になる事がありません。 また、マスクの交換も簡単に行えます。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 【特長】 ■両面同時露光 ■fast露光モード、アライメント露光モード ■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能 ■省スペース&簡単メンテナンス ■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適 ■ベルト搬送方式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
- 価格：応相談
