大型パネル向け成膜装置 CLUSTERLINE 600
PLP向けにより高い生産性！より多くのプロセス可能性。アドバンストパッケージング向けに最適
「CLUSTERLINE600」は、大型パネル向けに特化したPVD成膜装置。 すべてのプラットフォームは、カセットからカセットへの処理と 完全に自動化された処理を備えたクラスターアーキテクチャを共有。 【チャンバー構成】 ■脱ガスチャンバー ■イオンエッチング ■Tiスパッター ■Cuスパッター ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：日本エバテック株式会社
- 価格：応相談
