多孔質吸着ステージ
多孔質吸着ステージ
ピックアップミスにより不良率を軽減する 多孔質吸着ステージ 【特徴】 ○チップの浮き、回りによるピックアップミスを軽減 ○ウエハーシートを全面吸着が可能 ○ウエハーシートのたわみ解消 ○ニードル突き上げ量の一定化 ○稼働率の向上 ○メッキ剥離による異物混入の防止 ○カスタムオーダーで様々な材質、形状の対応が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業:株式会社タイショー
- 価格:応相談
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多孔質吸着ステージ
ピックアップミスにより不良率を軽減する 多孔質吸着ステージ 【特徴】 ○チップの浮き、回りによるピックアップミスを軽減 ○ウエハーシートを全面吸着が可能 ○ウエハーシートのたわみ解消 ○ニードル突き上げ量の一定化 ○稼働率の向上 ○メッキ剥離による異物混入の防止 ○カスタムオーダーで様々な材質、形状の対応が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
チップ吸着ミスやボンディングミスによる稼働率低下や不良率を低減!
『多孔質吸着ステージ』は、チップ吸着ミスによる装置の稼働率低下や ボンディングミスによる不良率を低減できるステージです。 ウエハーシートを全面吸着が可能で、また、ウエハーシートのたわみ解消 も行えます。 さらに、ウエハー吸着時における、メッキ剥離により異物混入 (メッキカス)も解消されます。 カスタムオーダーで様々な材質、形状の対応が可能です。 お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■チップの浮き、回りによるピックアップミスを軽減 ■ウエハーシートを全面吸着が可能 ■ウエハーシートのたわみ解消が可能 ■ニードル突き上げ量の一定化 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フィルム・金属箔・紙など薄物部材 多孔質材料の固定に好適な検査ステージ! 吸着痕対策 機種替えフリー対応が可能です。
当社で取り扱っている「検査装置向け静電吸着ステージ」について、 ご紹介いたします。 表面黒色対応にて、画像処理やレーザー検査向けとして利用可能。 面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかかりません。 多孔質材、フィルム材、金属箔、紙など薄物部材の固定に 好適な検査ステージとなっております。 【特長】 ■面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからない ■表面黒色対応にて、画像処理、レーザーを用いた検査機の ステージとして利用可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
「バキュームチャック」や「ヒートコマ」などをラインアップ!半導体の製造に関連する製品をご紹介
当社が取り扱っている『多孔質吸着ステージ』をご紹介します。 「バキュームチャック」はダイボンディング時にウエハーを吸着。 また、ピックアップ時に近隣チップの浮きや回りの問題を解消するには 「ポーラスチャック」を推奨します。 この他、「ヒートコマ」はワーク搭載部に多孔質材を使用する事により、 吸着穴が無くても全面均一な吸着が可能です。 【特長】 <バキュームチャック> ■ダイボンディング時にウエハーを吸着 ■カスタムオーダーで様々な材質、形状、パターンの対応が可能 <ポーラスチャック> ■ウエハーシート(チップ)を全面均一に吸着が可能 ■ウエハーシートのたわみ解消 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。