高精度圧力センサー
±0.25%の高精度圧力センサー
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-302シリーズは、ゲージ圧・絶対圧の2種類を揃え、高温タイプも選択可能なフルスケールで±0.25%の高精度圧力センサーです。デジタルパネルメータ(表示器)としては、PC-302シリーズ専用のLo/Hi2段階設定式デジタルストレンゲージメーターを用意しています。
- 企業:株式会社ピー・ジェイ
- 価格:応相談
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±0.25%の高精度圧力センサー
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-302シリーズは、ゲージ圧・絶対圧の2種類を揃え、高温タイプも選択可能なフルスケールで±0.25%の高精度圧力センサーです。デジタルパネルメータ(表示器)としては、PC-302シリーズ専用のLo/Hi2段階設定式デジタルストレンゲージメーターを用意しています。
腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーPC-601シリーズ
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 半導体デバイスの製造プロセスにおきましては、HBr、HCl等のハロゲン系反応性、腐蝕性特殊ガスが多く使用されております。これらの腐蝕性ガスは、ガス供給配管系に使用される圧力センサー・ガスフィルター等に使用されておりますステンレス鋼材の内表面に吸着したわずかな水分とも反応し、腐蝕生成物を形成します。この生成物は、パーティクルを発生させ、半導体プロセス汚染の原因となっております。ピュアロンでは、このような腐蝕性特殊ガスに対し、ステンレス鋼材SUS316Lをはるかにしのぐ耐蝕性を有するハステロイを使用した腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーPC-601シリーズを開発致しました。
測定媒体温度が-10℃から最高300℃まで対応
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。特徴として、測定媒体温度が-10℃から最高300℃(環境温度:-10〜250℃)まで対応しております。ボディへはSUS316L材を採用し接ガス(液)部へは電解研磨処理を施しております。また、ダイヤフラムにハステロイ材を採用しており、非常に優れた耐食性を有します。精度が±1%F.S.と高精度です。さらに真空引きにも対応しております。配管接続はストレート、Tアングルの2タイプで、各種継手への対応が可能です。クリーン二重梱包にて出荷致します。なお、出力信号については、増幅回路部が外部取り付け方式(標準付属)にて4〜20mA、0〜5Vから選択頂けます。その他、高精度圧力センサー、ケミカル用圧力センサー(接液部にテフロンを使用)など様々な圧力センサー、および表示器を取り揃えております。
各種集積化ガスシステム用圧力センサー
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製 高精度・高耐蝕性を特徴とする各種集積化ガスシステム用圧力センサーです。
コンパクトな構造・高精度にして低価格
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-920シリーズはコンパクトな構造・高精度にして低価格を実現しました。
接液部にテフロンを使用
半導体製造ラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-500シリーズは、接液部にテフロンを使用しており、半導体製造・薬品製造等のラインにおいて超純水から腐蝕性の強い媒体まで安心してお使い頂けます。